很快，DUV浸润式光刻机的控制台和互联网链接成功。

屏幕上，注册软件自动运行。

“链接未来科技公司服务器成功。”

“机器注册中……”

“注册成功！”

“获得测试授权，授权期限为15天。”

伯灵院士看到屏幕上显示的文字后，脸上压抑不住的激动。

现在，最关键的控制系统已经安装到位，整台DUV浸润式光刻机已经完整，可以开始进行测试。

只要测试合格，种花国第一台DUV浸润式光刻机将要在他手中诞生，将要在海上微电公司诞生。

不管是对他而言，还是对海上微电公司而言，这将是无上的荣耀。

“韩总，可以了吗？如果可以，我想马上开展测试。”伯灵院士无法压制心中的激动。

玻璃隔断外，听到伯灵院士的话，科学院的几个院士身体前倾，眼神羡慕的看向伯灵院士。

“伯灵的运气真好！让他捡到那么大的便宜！主持种花国第一台DUV浸润式光刻机的生产，如果这次成功了，他的名字将会留在教科书上。”

到了院士级别，金钱、地位都不缺，他们想要的是，如同其他科学巨匠一样，将名字留在教科书上，留在历史书上。

“伯灵院士，请等一下……我给你们的设计图中，带有自检模块，刚才安装的控制程序中，也带有自检模块的软件。”

“通过软硬件配合。”

“可以对工件台的移动精度，定位精度，移动速度进行自检。”

“同样的，控制程序带有的自检模块，可以对光源的功率，光源波长的纯度进行自检。”

“也可以对镜头的透光率，清洁度，安装位置是否偏移进行检测。”

“只要检测通过，就说明光源和工作台是能够正常工作，可以进行芯片加工。”韩阳一脸认真的说道。

伯灵院士听后，直接瞪圆了眼睛，有些不敢置信的说道，“你的意思是，只要通过软件自检，就说明这台DUV浸润式光刻机质量合格，可以来用进行芯片生产？”

“不是！”韩阳摇了摇头，然后继续说道，“这台DUV浸润式光刻机的光源、镜头、工作台是按照我的设计图来加工生产的，带有我专门设计的自检模块。”

“通过自检，只能说明光源、镜头、工件台没有问题。”

“机器的其他是你们自己设计生产的，有没有问题我不清楚。”

“对了，伯灵院士，你们设计的部分，带有自检模块吗？如果带有自检模块，我提供API，你们可以把这三样的自检模块整合到机器的整体自检模块中。”韩阳一脸认真的说道。

太先进了！比ASML的机器还要先进！这是伯灵院士的第一反应。

想到自家设计的自检模块，伯灵院士脸上露出苦笑。

他们原来的设计图上也有自检模块，但自检模块的检测能力和韩阳设计的部分，根本就不是一个时代的产物。

只能检测零部件是否损坏，是否通电。

和韩阳设计的自检系统相比，非常落后。

看着韩阳那认真的眼神，伯灵院士苦笑着说，“韩总，我们的自检模块做不到这种程度。”

“需要进行质量检测。”

然后，他眼神炙热的看向韩阳，“韩总，我记得你说过，要提供全套技术给我们。”

“等第一台机器试验通过后，请你将自检模块的设计提供给我们，好吗？”

“没问题！但需要一些时间。”韩阳点了点头，开始给伯灵院士演示自检模块的使用方法。

“开始进行光源、工作台、镜头自检……”

“自检中……”

“光源自检完成，光源稳定输出功率300瓦，光波193纳米，设备正常。”

“工作台运行正常，运行精度2纳米。”