EUV光刻机超过10万件零件,别说研发了,光组装起来就很复杂。
所有购买阿斯曼EUV光刻机的公司,包括台机店,
要专门给阿斯曼专门建一个无尘车间和办公室,供阿斯曼的人过来组装和维护。
所以,你买了阿斯曼的EUV光刻机还得请阿斯曼的人来组装和维护,整个EUV光刻机生产车间全是阿斯曼的人。
陈金上辈子,阿斯曼高管在知道国内要研发EUV光刻机后,说过这么一句话,
“就算给国内工程师图纸,国内工程师也造不出EUV光刻机。”
阿斯曼高管说这句话的时候,光刻机重要零部件基本都被禁售了,才敢放大话。
他不知道华夏的核弹可是工程师们手搓的。
这个时候还没有被禁售,所以陈金在小易的支持下研发EUV光刻机的效率相当于什么?
相当于把一台现成的光刻机拆解后,拿着图纸说明书重新组装调配,这已经不叫研发了,这叫工程师在学习并熟悉光刻机的组装技术。
当然,现在陈金的手机销售任务还没完成,所以暂时他还拿不到光刻机的技术和资料。
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华易芯片制造第一步是晶圆制备、这一点陈金自然不用去插手。
光刻机制造芯片,先是把芯片的电路图制作在掩膜版。
然后光刻机上的光源把掩膜版上的芯片电路图照射在涂有光刻胶的晶圆上。
然后用溶剂消掉被光源照射软化的光刻胶,暴露出光刻胶下面的晶圆。
最后用溶剂腐蚀掉暴露出来的晶圆,再洗掉晶圆上的光刻胶,就会得到一张电路晶圆。
当然芯片也不是一次就成型的,需要进行多次光刻,具体次数在20到30次之间。
制作掩膜版和制作芯片一样,同样复杂,
先将设计好的芯片电路图输入制作掩模版的自动化设备里。
然后自动化设备利用电子束将电路图案曝光到涂有光刻胶的掩膜版基板上。
然后同光刻晶圆一样,用溶剂消掉被电子束照射软化的光刻胶,暴露出光刻胶下面的掩膜版基板。
然后用溶剂腐蚀掉暴露出来的掩膜版基板,再洗掉基板上的光刻胶,就会得到一张有电路图的掩膜版。
如果掩膜版有问题,可以使用高分辨率的光学或电子显微镜对掩模进行全尺寸检查,查找并记录任何缺陷。
也可以通过激光修补技术进行修复,这一过程涉及使用精确控制的激光来修改或去除错误的图形部分。
中鑫国际在制作掩膜版时就出了问题,中鑫国际目前生产的ARM11是单核心设计,工程师就默认以为华易芯片也是单核心设计。
还好陈金守在车间,不然要等芯片生产出来后才能发现问题。
双核心芯片的掩膜版制作,中鑫国际的工程师也不会,最后没办法陈金让小易通过他去一点一点的指导工程师才弄好。
弄完后,工程师对陈金佩服的五体投地,惊为天人。
尤其是设置过程中,陈金甚至不用检测,不用运行,只看一眼就知道哪里有问题。
就好像陈金有一双火眼金睛一样。
搞得几个工程师,忍不住要拜师了。
陈金自然不能收徒,他就是个工具人而已,都是小易通过他去指导的。
陈金虽然当了一回工具人,但还是挺爽的,要知道中鑫国际的工程师们基本都是博士。
他一个初中文化的人,被这些博士们一口一个老师,他再怎么稳重,人也有点飘了。